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歌尔微电子申请MEMS麦克风和电子设备专利,使第二功能区能够与对应的功能部形成叉指电容

发布时间:2025-06-03 15:51:43  浏览量:20

金融界2025年6月3日消息,国家知识产权局信息显示,歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“MEMS麦克风和电子设备”的专利,公开号CN120091261A,申请日期为2025年02月。

专利摘要显示,本申请公开了一种MEMS麦克风和电子设备。MEMS麦克风包括衬底结构、振膜结构、支撑结构和背极结构;振膜结构叠设于衬底结构的一侧,振膜结构包括位于中心的第一功能区和连接于第一功能区周侧成对设置的多个第二功能区,且每对第二功能区分别位于第一功能区相对的两侧;支撑结构叠设于衬底结构的一侧,并环绕于振膜结构的外侧,支撑结构包括支撑部和与多个第二功能区相对应的多个功能部;背极结构叠设于支撑结构远离于衬底结构的一侧,并能够与第一功能区形成平行板电容,且当振膜结构与背极结构之间的电压大于设定值时,第一功能区能够吸合至背极结构,使第二功能区能够与对应的功能部形成叉指电容。

标签: 麦克风 歌尔 mems mems麦克风 电容
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